GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
作者:标准资料网 时间:2024-05-07 15:16:11 浏览:8333
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅片直径测量方法 光学投影法 |
| 英文名称： | Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method |
| 中标分类： |
冶金 >>
半金属与半导体材料 >>
半金属 |
| ICS分类： |
冶金 >>
金属材料试验 >>
金属材料试验综合
|
| 替代情况： | 被GB/T 14140-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1993-02-06 |
| 实施日期： | 1993-10-01 |
| 首发日期： | 1993-02-06 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 洛阳单晶硅厂 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 4页 |
适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。
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所属分类： 冶金 半金属与半导体材料 半金属 冶金 金属材料试验 金属材料试验综合
【英文标准名称】:Leather,Def.ofTermsRelatingto
【原文标准名称】:与皮革相关的术语定义
【标准号】:ASTMD1517-1980
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1980
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:皮革;术语;定义
【英文主题词】:terminology;leather;definitions
【摘要】:
【中国标准分类号】:Y45
【国际标准分类号】:01_040_59;59_140_30
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:Bearings,airframerolling,rigidorself-aligning-Technicalspecification
【原文标准名称】:刚性或自调心的机体轴承.技术规范
【标准号】:BSEN3280-1994
【标准状态】:作废
【国别】:英国
【发布日期】:1994-05-15
【实施或试行日期】:1994-05-15
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验设备;质量控制;性能;验证;机械试验;尺寸测量;试验条件;资格鉴定;包装;飞机机架轴承;抽样方法;扭转试验;静荷载;性能试验;无损检验;轴承;准确度;飞行器部件;验收(鉴定);检验;间隙;自位轴承;润滑脂;工作范围;防尘试验;质量保证;滚动轴承;作标记;热试验
【英文主题词】:Acceptance;Acceptancespecification;Aerospacetransport;Airtransport;Aircraftcomponents;Airframebearings;Airframes;Ballbearings;Bearings;Conditions;Definition;Definitions;Deliveryconditions;Groovedballbearings;Inspection;Packages;Qualityassurance;Qualityrequirements;Rollerbearings;Rollingbearings;Self-aligningballbearings;Self-aligningbearings;Spacetransport;Specification(approval);Testing;Workscertificates
【摘要】:Thisstandardspecifiestherequiredcharacteristics,inspectionandtestmethods,qualificationandacceptanceconditionsforrigidorself-aligningairframerollingbearings.Itisapplicablewheneverreferenced.
【中国标准分类号】:V22
【国际标准分类号】:49_035
【页数】:28P.;A4
【正文语种】:英语
